臭氧的生成主要通过以下几种方法：

1. 紫外线照射法：

通过紫外线照射干燥的氧气，部分氧分子被激活并离解成氧原子，这些氧原子随后与氧分子结合形成臭氧。紫外照射法产生的臭氧浓度较低，其优点是不会产生氧化物，且不需要复杂的转换设备。

2. 电解法：

电解法制备臭氧的技术始于1840年，主要是通过低压直流电对水进行电解，在阳极－溶液界面上发生氧化反应来产生臭氧。这种臭氧制备装置由电解质溶液和阴阳两极组成。

3. 放射化学法：

放射化学法利用不同放射源的核辐射来离解氧分子，从而生成臭氧。目前已有两种工业规模的工艺基于这种方法生产臭氧。

4. 介质阻挡放电法（DBD法）：

这种方法也被称为无声放电法，它通过交变高压电场在气体中产生电晕，电晕中的自由高能电子离解氧气分子，这些分子经过碰撞聚合形成臭氧分子。

臭氧消毒的优点包括：

1. 全方位消毒，无死角：

臭氧发生装置在相对密闭的环境中产生一定量的臭氧，其扩散均匀，通透性好，能够克服紫外线杀菌存在的消毒死角问题，实现全方位、快速、高效的消毒杀菌。

2. 高效杀菌，除异味：

臭氧的杀菌谱广，能有效杀灭细菌繁殖体、芽孢、病毒、真菌和原虫孢体等多种微生物。同时，它还具有强大的除霉味、腥味、臭味等功能。

3. 无残留、无污染：

臭氧是由空气中的氧气产生的，消毒氧化过程中，多余的氧原子在30分钟内会结合成为分子氧，因此不存在任何残留物质。这解决了消毒剂消毒后可能残留的二次污染问题，并且不需要消毒结束后的再次清洁。