回填土最怕的是建筑垃圾。如果如你所说，回填土是“砖头土”的话，不要紧的，规范规定，填土半年以上的，就可以作为基础持力层。单层厂房荷载很小，不处理地基也没什么关系。如果填土中有建筑垃圾，就需要处理了。你的想法更安全些，不过造价要提高不少了。按你的方法处理也可以的。