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绝对压力传感器有哪些结构

发布时间:2025-02-01 08:46:59

绝对压力传感器是一种常见的压力传感器,其用于测量介质与真空的压力之差,即所谓的绝对压力。绝对压力传感器的结构种类繁多,以下是其中一些常见的结构:

1. 振动式绝对压力传感器:采用压力感应元件振动频率的变化来实现压力测量,目前应用较广。

2. 熔融石英绝对压力传感器:这种压力传感器使用具有极高热稳定性的熔融石英作为测量元件,称为熔融石英压力传感器,可用于高温环境下。

3. Pi膜绝对压力传感器:这种压力传感器以硅片为基础,由多个Pi膜构成,压力通过内部微小的弹簧作用于Pi膜,从而导致切变力和压电效应的产生,实现压力的测量。

4. 微机械振膜绝对压力传感器:使用微加工技术制作出微机械振膜结构,并在振膜表面安装电极,通过电荷感应的方式实现压力测量。

综上所述,绝对压力传感器的结构种类繁多,不同的场合需要选择不同的类型。需要根据具体的应用条件、测量要求和预算来选择最合适的绝对压力传感器。

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