最好的滤膜是反渗透膜，反渗透膜的过滤精度比较高。目前使用比较多的反渗透膜材料主要有醋酸纤维和聚酰胺两大类。而醋酸纤维素膜装置是目前超纯水制造系统中常用且经济的反渗透装置。

反渗透膜表面微孔的直径一般是在0.5～10nm之间，透过性的大小与膜本身的化学结构有关。有的高分子材料对盐的排斥性好，而水的透过速度并不好。有的高分子材料化学结构具有较多亲水基团，因而水的透过速度相对较快。在现代工业发展中，反渗透膜在处理苦咸水和海水，由于其卓越的脱盐性能、更高的产水量、更低的运行压力、更长的使用寿命，被业界公认为是最经济和最有效的膜法水处理核心部件。