遇电气设备着火，处理步骤如下：

1. 首先，立即切断着火设备的电源，确保安全前提下进行灭火作业。

2. 使用干式灭火器或二氧化碳灭火器对带电设备进行灭火，避免使用泡沫灭火器，以防触电事故。

3. 对于涉及燃油的设备火灾，应选用泡沫灭火器或干沙进行灭火，因为这些介质可以有效隔绝空气，阻止火势蔓延。

4. 发电厂或变电所的控制室内应配备防毒面具，并确保其处于良好的工作状态，同时要定期进行试验，以保证在紧急情况下能有效使用。