解放之前的改变不说了

下面是解放后的历史变革，我的理解是，应该说深圳原来是惠州的，广州和东莞其中一部分是惠州的

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1949年－－东江专区，辖惠阳（专区驻地）、增城、紫金、连平、和平、陆丰、博罗、龙门、河源、龙川、海丰，共11县

1958年－－设惠州县级市，4月设惠东县

1959年－－撤销惠阳专区，并入佛山、韶关、3汕头个专区。撤销惠州市，改为惠州镇，划归惠阳县管辖，惠东县并入惠阳县；龙门县并入增城县

1963年－－恢复惠阳专区，辖惠阳、博罗、宝安、东莞、增城、龙门6县

1964年－－10月恢复惠州市（县级）

1970年－－惠阳专区改为惠阳地区

1975年－－11月，惠阳地区的增城县和龙门县划归广州市管辖

1979年－－3月，原属惠阳地区的宝安县改设深圳市（地级）

1984年－－惠阳地区，辖惠州市（县级）惠阳、紫金、各平、连平、河源、博罗、东莞、惠东、龙川、陆丰、海丰，共1市11县

1988年－－经国务院元月7日批准，撤销惠阳地区，改称惠州市（地级），原惠州市改称惠城区。惠州市辖惠城区、惠东县、惠阳县、博罗县、龙门县，共一区4县

1992年－－经国务院批准成立仲恺国家高新技术产业开发区

1993年－－5月，经国务院批准设立大亚湾经济技术开发区

1994年－－惠阳撤县设市（县级）

2003年－－惠阳撤市设区。至此惠州现辖惠城区、惠阳区、惠东县、博罗县、龙门县，设有大亚湾经济技术开发区和仲恺高新技术产业开区两个国家级开发区。