微孔加工技术因其独特性在传统和微细加工之间占据一席之地，各国科研机构持续投入研究。针对不同条件，有多种加工方式可供选择，包括电火花微加工、激光加工、线性切割、蚀刻加工和微钻孔工艺。

电火花微孔加工，专用于模具打孔，虽加工精度高，受力小，孔径深度可控，但因其慢速和成本高，适合少量孔径（如2-5个）的精细加工。

激光加工则以高效、低成本和稳定的加工质量闻名，适用于微米级材料，如电子元件和多层电路板，但金属微孔加工时易产生烧黑，且可能影响材质，清理困难。

线性切割以其连续供丝的特点，适用于表面粗糙度要求高的领域，但工件易变形且批量生产成本高昂。

蚀刻工艺，特别是光化学蚀刻，适合制作复杂形状和高精度的超薄工件，优点在于部件平整无毛刺，周期短成本低。

最后是微钻孔，专为直径小于3.175mm的孔设计，适用于Ф0.1-Ф0.3mm的深径比高的加工任务。