真空断路器采用真空作为绝缘和灭弧介质，其工作原理基于真空环境的独特特性。当断路器断开电路时，电弧在真空灭弧室的触头材料中产生的金属蒸气中燃烧，这种电弧被称为真空电弧。

在开断真空电弧的过程中，弧柱内部的压力和密度差异极大。由于这种差异，弧柱内的金属蒸气与带电质点会持续向外扩散。同时，电极持续释放新的质点以补充这一过程，使得弧柱内部始终处于一种动态平衡状态。随着电流逐渐减小，弧柱内的金属蒸气密度和带电质点的密度也随之下降。当电流接近零点时，这些金属蒸气和带电质点几乎完全消失，电弧随之熄灭。

电弧熄灭后，弧柱残余的质点继续向外扩散。此时，断口间的介质绝缘强度迅速恢复。只要介质绝缘强度恢复的速度快于电压恢复的速度，电弧就能被最终熄灭，从而实现断路器的安全断开。

真空断路器的这种灭弧机制，使得其具有很高的灭弧效率和稳定性，适用于各种高压和中压系统中的快速断开操作。