发布时间:2025-01-31 06:34:57
常见的半导体制造中使用的化学品及其用途如下:
1、氢氟酸:用于清洗硅晶圆表面的自然氧化层和金属离子等污染物。
2、硫酸:用于清洗硅晶圆表面的有机物和颗粒等污染物。
3、硝酸:用于清洗硅晶圆表面的金属离子和颗粒等污染物。
4、三氯乙烯:用于清洗硅晶圆表面的油脂和颗粒等污染物。
5、光刻胶:用于在光刻过程中作为图形转移介质,利用光照反应后溶解度不同将掩膜版图形转移至衬底上,通常由感光剂、感光树脂、溶剂与助剂构成。
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