我就根据自己的科研来说下大概的认识，

tco即透明导电薄膜---这个用的比较多的也比较成熟的是ITO薄膜即

我做的课题是AZO薄膜，这主要用在太阳能电池，以及节能玻璃或者触摸屏之类

增透膜一般较多用的是氟化物薄膜，我以前做的有氟化镁薄膜，主要是起到对某些范围波段光增透减反效果，比如用在望远镜之类 还有增反膜这个意思相反

纳米膜这个太笼统了 因为其实用物理法做出的薄膜其实都能达到原子级别、但是我们感觉到还是比较平整的，纳米膜以前接触过用喷涂法制备纳米涂层 这个主要是防腐或者耐磨 主要用氧化铁或者氧化铝这两种

一般制备光学薄膜 都要抽真空 一般现在较多的是磁控溅射