半导体行业气体管路常用的接头种类多样，包括VCR、VCO、卡套(lok)、KF法兰、ISO法兰和快插等。

一、VCR接头

VCR接头有带爪和无爪垫片之分。对于水平方向的接头，使用无爪垫片时，建议先使用带爪垫片卡到公头上以防止垫片掉落。竖直方向的接头，有爪和无爪垫片的影响较小。使用镀银或铜垫片时，最大漏率为4×10e-8mbar·l/s。VCR接头的泄漏处理方式通常包括加固接头、更换垫片和更换磨损严重的管道。

二、卡套接头

卡套接头的常用规格包括1/4~1英寸和6-25mm，同时可与NPT、R等螺纹匹配。不锈钢卡套接头适用于卡金属管、PFA、PTFE和PP等硬塑料管。不同规格和材质的接头与管材的匹配决定了其耐压能力，耐压能力以最小件的值为准。然而，卡套接头不适用于输送易燃易爆、腐蚀性气体和液体。原因是其气密性较差，管道边缘和接头本体之间存在死角间隙，容易积水和腐蚀管道及接头，缩短使用寿命。