你的设备被抽气体是不是含有水蒸汽，如果是的话，在真空泵进气管路加冷凝器，和水气分离器（我们通常叫缓冲罐），使水蒸气冷凝成水，从而起到水汽分离的效果。如果你用的是往复式真空泵，机器进水对设备损害非常大，很容易出机械事故。