3D光学轮廓仪NV系列，集白光干涉与相移干涉技术于一身，实现高扫描速度，垂直分辨率可达亚纳米级0.1nm，赋予其三维台阶仪功能。该设备具有探针尖端与倾斜功能，能准确测量高度倾斜表面，即时呈现纹理、粗糙度、透明样品等生动的3D图像。

白光扫描干涉技术，非接触、无损、快速测量，触针仪器受限于其尖端直径，无法测量微小凹凸，而白光干涉测量法凭借微小光斑尺寸，具备高分辨率，适合微几何形状的表面粗糙度测量。

相移干涉测量法，通过在受控相移期间获取的干扰数据，实现完整3D图像的生成，高度测量精度可达1nm，且重复性高。

区域扫描强度测量方法，相较于每个点方法，通过测量减少测量时间，提高效率。

轮廓仪配备粗糙度测量功能，通过美国国家标准与技术研究院认证的超大规模集成电路步长标准样品进行校准，确保高可追溯性和重复精度，实现极高的测量精度。