发布时间:2025-01-20 07:11:11
光刻胶(Photoresist)又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。
黏滞性/黏度(Viscosity)是衡量光刻胶流动特性的参数。黏滞性随着光刻胶中的溶剂的减少而增加;高的黏滞性会产生厚的光刻胶;越小的黏滞性,就有越均匀的光刻胶厚度。光刻胶的比重(SG,Specific Gravity)是衡量光刻胶的密度的指标。它与光刻胶中的固体含量有关。较大的比重意味着光刻胶中含有更多的固体,黏滞性更高、流动性更差。黏度的单位:泊(P,1 P=10-1 Pa·s),光刻胶一般用厘泊(cP,1 cP=10-2 P)来度量。百分泊即厘泊为绝对黏滞率;运动黏滞率定义为:运动黏滞率=绝对黏滞率/比重。 单位:百分斯托克斯(cst)=1 mm2/s .大多数光刻胶生产商用在光刻胶中转动风向标的方法测量黏度。