光刻工艺中如果使用HMDS做为增粘剂，请问具体的工艺步骤是什么

1, HMDS是气相涂布在硅片表面，也就是硅片在HMDS的蒸汽中放置一会儿，温度约100-180度即可2，HMDS处理后需要冷却后涂胶，但等待时间不能太长，过长处理效果会变差，建议4小时内完成涂胶3，HMDS上面涂胶不影响HMDS的处理效果4，HMDS本身是表面改性，HMDS本身不会涂在园片表面，···