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1、去psg层,将经过扩散掺杂的电池片,浸泡在hf溶液中,去除扩散掺杂过程中产生的psg。2、清洗,将上述电池片,用纯化水清洗去除电池片残留的hf。3、pecvd氮化硅镀膜,将上述电池片,进行pecvd氮化硅镀膜工艺处理,在电池片正面制备一层氮化硅薄膜。4、去背结及抛光,将上述电···
2025-01-28 01:12:31