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高低真空泵之间再连接一台中真空泵,便可起到承上启下的作用,流量连续,而且各泵皆可工作在较佳状态。罗茨泵能工作在中真空范围,是比较适合的,故又称罗茨增压泵,由于其压缩比不高,正好可连接几Pa至几百Pa的范围。当三级高真空机组进入较高的真空度时,由于主泵的排气流量···
2025-01-18 07:43:07