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平面度测量是评估实际表面与理想平面的理想状态偏离程度。通过比较两者,计算出线性距离,即为平面度误差值。测量方法包括:1. 平晶干涉法:使用光学平晶作为理想平面,干涉条纹的弯曲度和间距变化反映了被测表面的平面度。例如,图a显示的直且等间距条纹表示表面接近平直,但···
2025-01-29 22:07:17