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硅片表面有哪些污染
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硅片表面有哪些污染
硅片表面的污染主要包括有机物污染、金属污染、颗粒污染以及自然氧化层等。1. 有机物污染是硅片表面常见的污染类型之一。在硅片的生产和加工过程中,由于接触各种有机材料,如油脂、蜡、润滑油等,会在硅片表面形成有机物薄膜。这些有机物薄膜不仅影响硅片的性能,还可能导致···
2025-01-18 02:07:04