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PECVD 工艺中使用的石英管,使用状况如何
客户一直说,与原厂的比较,现在的使用时间还是很差距,还要提高质量,这个石英管本身我们在做的时候,已经是非常严格的去控制他的质量,从材料与气泡方面应该说已经很好在国内石英材料来讲。我记得早期03-04年的时候,这个石英管是OD30*ID26*L1130mm,壁厚2.0mm,后来因为质···
2025-01-29 22:50:07