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光刻胶是什么东西
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光刻胶是光致抗蚀剂。光刻胶是指通过紫外光、电子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时,若采用适当的有选择性的光刻···
2025-02-07 10:44:13